Den første metall-oksid-halvleder-transistoren (MOS) ble oppfunnet i 1959 av Mohamed M. Atalla og Dawon Kahng ved Bell Labs. MOSFET (metal-oxide-semiconductor field-effect transistor) ble oppfunnet av Kahng og Atalla i 1959, og den første kommersielle CMOS (komplementær MOS) enheten ble produsert i 1968 av Fairchild Semiconductor.