Størrelsen på en Pentium III CPU L1 -cache varierer avhengig av den spesifikke modellen.
* De fleste Pentium III -prosessorer har en 16kb L1 -databuffer og en 8KB L1 instruksjonsbuffer, totalt 24kb.
Imidlertid er det noen unntak:
* tidlige Pentium III -modeller (kobbermin) kan ha en 16kb L1 databuffer og en 16kb L1 instruksjonsbuffer, totalt 32kb.
* senere Pentium III -modeller (Tualatin) kan ha en 32kb L1 databuffer og en 32kb L1 instruksjonsbuffer, totalt 64kb.
Derfor er det best å sjekke de spesifikke spesifikasjonene til Pentium III -prosessoren for å bestemme den nøyaktige størrelsen på L1 -cachen. Du kan vanligvis finne denne informasjonen i CPU-Z-programvaren eller prosessorens datablad.